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近年來，無塵車間為了保證一定的環(huán)境濕度，在規(guī)定范圍中保持處理空氣過程，使我們必需承擔(dān)資金和運(yùn)營成本。但是為什么值得花費(fèi)這么多錢用在無塵車間、潔凈室中控制相對濕度呢？道理很簡單！因?yàn)橄鄬穸扔幸幌盗锌赡苁節(jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括：
1、細(xì)菌生長；細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度過30%時(shí)就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至zui低。
2、工作人員感到室溫舒適的范圍；相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
3、出現(xiàn)靜電荷；高濕度實(shí)際上減小了無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對濕度過50%時(shí)，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時(shí)間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。
4、金屬腐蝕；很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護(hù)能力的，因此，在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。
5、水汽冷凝；在相對濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。這種效應(yīng)——凱爾文濃縮——當(dāng)相對濕度小于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對濕度在70%左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的主要力量。
6、光刻的退化；到目前為止，在半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中zui迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的要求是zui嚴(yán)格的水準(zhǔn)。
干燥的季節(jié)，在無塵車間內(nèi)，靜電和粉塵的危害是直接造成無塵車間工業(yè)產(chǎn)品出現(xiàn)各種不良后果。現(xiàn)在通過使用工業(yè)加濕機(jī)將空氣濕度提升，即保證了產(chǎn)品的出廠品質(zhì)，人們感覺舒適，靜電也消失了、因此，潔凈加濕成為無塵車間環(huán)境控制的必然要求。
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